針状ナノシリコン結晶の構造解析(ナノ粒子I)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
We have found that nano-needle silicon crystals are fabricated on silicon wafer by being exposed to microwave plasma of methane/hydrogen gas mixture with negative biasing after deposition of iron ultra-fine particles by DC sputtering. The size of the nano-needle is 1μm in height 100-200 nm in diameter, and a few nm in top radius, typically. The nano-needle silicon crystals are made of crystalline silicon coated with carbon thin films of a few nm thick.
- 日本結晶成長学会の論文
- 2003-07-05
著者
-
藤森 洋行
東芝セラミックス(株)開発研究所
-
八田 章光
高知工科大学電子・光システム工学科
-
八田 章光
高知工科大学
-
吉村 紘明
高知工科大
-
藤森 洋行
(株)東芝セラミックス 開発研究所
-
八田 章光
高知工科大
関連論文
- 低侵襲治療におけるマイクロ波凝固療法,ラジオ波焼灼療法,超音波駆動メスの腎組織に対する影響
- 窒素ドープシリコン結晶中の Grow-in 欠陥形態への窒素の影響
- 23pYP-9 窒素ドープシリコン結晶中のGrown-in欠陥形態
- 窒素ドープシリコン中のGrown-in欠陥形態
- APP-010 新規ラジオ波焼灼システムの開発(総会賞応募ポスター,第94回日本泌尿器科学会総会)
- SEM中マイクロプラズマによる材料プロセス(LSIの評価・診断・解析及び,品質)
- 電界電子放出陰極を用いたマイクロプラズマ生成
- Comparative Study on Chemical Vapor Deposition of Diamond-Like Carbon Films from Methane and Acetylene Using RF Plasma
- Comparison of Properties of Diamond Nanowhiskers Obtained by Etching Diamond Films with Different Metal Coatings in Radio Frequency Plasma
- p形半導体ダイヤモンド陰極を用いた気体放電特性
- 酸化物半導体・窒化物半導体のプラズマプロセス
- Material Report R&D 円錐状シリコン先端へのカーボンナノチューブ成長
- プラズマ処理によるシリコン・ダイヤモンドのナノ構造形成
- マイクロ波プラズマによるダイヤモンド合成の現状
- 一酸化炭素放電の真空紫外発光
- TK03 ダイヤモンドCVD合成の進展(プラズマ応用における最近の進展, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 2. マイクロプラズマの生成(ミクロ反応場の生成と応用-マイクロプラズマ研究の現状と将来展望-)
- 最近のダイヤモンド合成技術
- 1.一酸化炭素ガス放電の真空紫外分光測定((1)光源・回路・放電現象(I) : 電球・蛍光ランプ関係)
- 電子顕微鏡のなかに小さなプラズマをつくる (特集 マイクロプラズマがおもしろい)
- 学会だより 第51回応用物理関係連合講演会(2004年春季)
- プラズマによる微細針状シリコンの形成
- 針状ナノシリコン結晶の構造解析(ナノ粒子I)
- 大気圧両極性コロナ (Atmospheric Bipolar Corona Discharge) : ダイヤモンド・コーティング・タングステン電極とノンコート・タングステン電極の比較研究
- 電極材料ダイヤモンド薄膜(ナノテクに託す未来の光源)
- プラズマCVD法による高品質ダイヤモンドの合成
- ダイヤモンド表面からの電子放出-ディスプレイへの応用を目指して-
- 有磁場マイクロ波プラズマ気相合成装置内に付着した炭素薄膜の酸素プラズマによるエッチング
- ダイヤモンド薄膜を用いた電子エミッタ
- 1B18 低ボロン量含有焼結 SiC の化学的性質
- 同軸線路型長尺マイクロ波放電ランプ
- 29. COガス放電からの紫外発光((2)光源・回路・放電現象(II)(HIDランプ関係・その他))
- ダイヤモンド薄膜を用いた電子放出素子
- 多結晶ダイヤモンドからの電界電子放出
- シリコン結晶中の酸素析出物の形態変化(バルク成長分科会特集 : シリコン結晶の最近の話題から)
- SiC基板上のCVD-SiC膜の構造
- LSI用pn接合特性解析技術の開発--酸素析出物に起因した接合リーク発生機構の解明
- 持続可能な社会における照明システム
- 1F-05 手回し発電機用電力計を活用した理科実験(物理教材・教育法,一般研究発表(口頭発表))
- 電極材料としてのダイヤモンド薄膜 (四国支部特集号)
- 同軸線路型長尺マイクロ波放電ランプ
- 人力発電を通じたエネルギー環境教育
- 電気に関する基礎教育への手回し発電機用電力計の応用
- 手回し発電機用簡易電力計を用いたコンデンサの静電エネルギーの実感を伴う学習