窒素ドープシリコン中のGrown-in欠陥形態
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概要
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- 2000-05-01
著者
-
平野 由美子
東芝セラミックス(株)シリコン事業部
-
藤沢 寛之
東芝セラミックス(株)開発研究所
-
岡部 俊夫
富山大学理学部物理学科
-
岡部 俊夫
富山大・物理
-
藤森 祥行
東芝セラミックス(株)開発研究所
-
岡部 俊夫
富山大・理・物理
-
岡部 俊夫
富山大学大学院 理工学研究科
-
藤森 洋行
(株)東芝セラミックス 開発研究所
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