シリコン結晶中の酸素析出物の形態変化(<小特集>バルク成長分科会特集 : シリコン結晶の最近の話題から)

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概要

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• The morphology of thermally induced oxygen precipitates in Czochralski Silicon Crystals and its dependence upon oxygen supersaturation in Czochralski Silicon Crystals were investigated using transmission electron microscopy. The morphology of oxygen precipitates depend upon not only annealing temperatures but also the oxygen supersaturation. The oxygen precipitates near the surface denuded zone are octahedral, independent of annealing temperatures, This result demonstrates the oxygen concentration plays an important role in the morphology change. In this paper, we discuss the morphology of oxygen precipitates depending upon the oxygen supersaturation, based on the diagram of the morphology in snow crystals.

• 1997-12-20

著者

• 藤森 洋行

  東芝セラミックス(株)開発研究所

• 藤森 洋行

  (株)東芝セラミックス 開発研究所

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