SiC基板上のCVD-SiC膜の構造

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概要

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• 2000-05-01

著者

• 藤森 洋行

  東芝セラミックス(株)開発研究所

• 藤沢 寛之

  東芝セラミックス(株)開発研究所

• 藤森 洋行

  (株)東芝セラミックス 開発研究所

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