Comparative Study on Chemical Vapor Deposition of Diamond-Like Carbon Films from Methane and Acetylene Using RF Plasma
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概要
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- Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physicsの論文
- 2006-10-30
著者
-
八田 章光
高知工科大学
-
HATTA Akimitsu
Department of Electrical Engineering, Faculty of Engineering, Osaka University
-
HASSAN Md.
Department of Electronic and Photonic Systems Engineering, Kochi University of Technology
-
PRAMANIK Bimal
Department of Electronic and Photonic Systems Engineering, Kochi University of Technology
-
Pramanik Bimal
Department Of Electronic And Photonic Systems Engineering Kochi University Of Technology
-
Hassan Md.
Department Of Electronic And Photonic Systems Engineering Kochi University Of Technology
-
Hatta Akimitsu
Department Of Electrical Engineering Osaka University:(present Address)department Of Electronic And
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