SEM中マイクロプラズマによる材料プロセス(LSIの評価・診断・解析及び,品質)
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概要
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走査型電子顕微鏡の低真空モードを用いて、試料近傍にマイクロサイズのガスノズルから局所的なガス供給を行ない、マイクロプラズマを発生させる。反射電子像を観ながらマイクロプラズマによる材料加工を試みる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-09-07
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