MOSFET断面構造の走査型トンネル顕微鏡および原子間力顕微鏡による評価
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概要
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- 2001-09-01
著者
-
中島 尚男
兵庫大
-
中島 尚男
阪大産研
-
長谷川 繁彦
阪大産研
-
伊藤 利道
大阪大 大学院工学研究科
-
中島 尚男
大阪大学産業科学研究所
-
奥井 登志子
大阪大学産業科学研究所
-
奥井 登志子
阪大産研
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