FePt薄膜の残留酸素が規則化温度に及ぼす影響(磁性薄膜,磁気記録一般)
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概要
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スパッタ法で作成したfcc-FePt薄膜をfct規則相に相転移させる温度(規則化温度)を下げることはFePt規則相の高密度磁気記録媒体応用にとって重要である。到達真空度の異なる条件で成膜したFePtCu薄膜の規則化温度を調べたところ、残留酸素濃度が少ないほど規則化温度が下がることがわかった。残留酸素はFeと結合して安定化しており、規則化のためのアニールでは膜外に出ない。規則化が進んでいる試料ほど結晶粒の粗大化が顕著であったことから考えて、安定なFe-Oがfcc-FePt結晶粒の周辺に存在し、規則化の端緒となる粒の粗大化を妨げていることが考えられる。上記の知見に基づき、含有酸素濃度の少ないFePt合金ターゲットを作成したところ、酸素濃度の大きいターゲットに比べて規則化温度を下がる効果のあることが確認された。同様のメカニズムが介在しているものと考えられる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-11-07
著者
-
前田 知幸
株式会社東芝研究開発センター
-
喜々津 哲
(株)東芝, 研究開発センター
-
甲斐 正
(株)東芝研究開発センター
-
永瀬 俊彦
(株)東芝研究開発センター
-
前田 知幸
(株)東芝 研究開発センター
-
秋山 純一
(株)東芝 研究開発センター
-
藤岡 直美
(株)東芝研究開発センター
-
石上 隆
(株)東芝研究開発センター
-
秋山 純一
(株)東芝研究開発センター
-
石上 隆
(株)東芝 研究開発センター
-
喜々津 哲
(株)東芝 研究開発センター
-
石上 隆
(株)東芝
-
藤岡 直美
(株)東芝 研究開発センター
-
喜々津 哲
(株)東芝
-
永瀬 俊彦
(株)東芝 研究開発センター
-
甲斐 正
(株)東芝 研究開発センター
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