自己組織化ポリマーを用いた新しい媒体ナノパターニング技術
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概要
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- 2001-02-01
著者
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喜々津 哲
(株)東芝, 研究開発センター
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浅川 鋼児
(株)東芝 研究開発センター
-
平岡 俊郎
(株)東芝研究開発センター材料デバイス研究所
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浅川 鋼児
(株)東芝
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喜々津 哲
(株)東芝 研究開発センター
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平岡 俊郎
(株)東芝 研究開発センター 新機能材料・デバイスラボラトリー
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喜々津 哲
(株)東芝
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