ナノインプリントと自己組織化マスクによるパターンド磁気記録媒体(ハードディスクドライブ及び一般)
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概要
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直径40nmの強磁性体ドットが2.5インチガラスディスク上に一様に配列した構造を持つパターンド媒体を作成した。ナノインプリントにより配列制御した自己組織化材料をテンプレートとしたマスクを形成し、ArイオンミリングでCoCrPt薄膜をエッチングした。TEMによる結晶構造解析や、SEMによる磁性ドット形状からミリング条件を最適化した。最適化された条件下において作成したパターンド媒体は、強い垂直磁気異方性を持ち、単磁区状態になっていることが示唆された。VSMや磁気トルク測定結果とLLGシミュレーションによる比較から、磁気異方性定数(Ku)の劣化が少ない事が判った。
- 2004-02-06
著者
-
喜々津 哲
(株)東芝, 研究開発センター
-
内藤 勝之
(株)東芝, 研究開発センター
-
櫻井 正敏
(株)東芝研究開発センター
-
鎌田 芳幸
(株)東芝研究開発センター
-
稗田 泰之
(株)日立製作所 中央研究所
-
稗田 泰之
東芝研究開発センター
-
森田 成二
東芝研究開発センター
-
稗田 泰之
(株)東芝 研究開発センター
-
浅川 鋼児
(株)東芝 研究開発センター
-
森田 成二
(株)東芝 研究開発センター
-
浅川 鋼児
(株)東芝
-
喜々津 哲
(株)東芝 研究開発センター
-
内藤 勝之
(株)東芝 研究開発センター
-
内藤 勝之
東芝(株)研究開発センター材料デバイス研究所
-
鎌田 芳幸
(株)東芝 研究開発センター
-
内藤 勝之
(株)東芝研究開発センター
-
喜々津 哲
(株)東芝
-
鎌田 芳幸
(株)東芝
-
森田 成二
(株)東芝
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