吸収帯シフト法と脂環を併用したArFレジスト材料の開発
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概要
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- 1997-12-04
著者
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浅川 鋼児
(株)東芝 研究開発センター
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信田 直美
東芝 研究開発センター
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信田 直美
(株)東芝 研究開発センター
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浅川 鋼児
(株)東芝
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後河内 透
(株)東芝研究開発センター新機能材料・デバイスラボラトリー主任研究員
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後河内 透
東芝 研究開発センター
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沖野 剛史
(株)東芝
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中瀬 真
(株)東芝
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後河内 透
(株)東芝研究開発センター先端機能材料ラボラトリー
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