中瀬 真 | (株)東芝

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概要

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• 同名の論文著者
• (株)東芝の論文著者

関連著者

• 後河内 透

  東芝 研究開発センター

• 中瀬 真

  (株)東芝

• 浅川 鋼児

  (株)東芝 研究開発センター

• 信田 直美

  東芝 研究開発センター

• 信田 直美

  (株)東芝 研究開発センター

• 浅川 鋼児

  (株)東芝

• 後河内 透

  (株)東芝研究開発センター新機能材料・デバイスラボラトリー主任研究員

• 内藤 卓哉

  東芝 研究開発センター

• 沖野 剛史

  (株)東芝

• 後河内 透

  (株)東芝研究開発センター先端機能材料ラボラトリー

著作論文

• 吸収帯シフト法と脂環を併用したArFレジスト材料の開発
• 光投影リソグラフィの波長極限を目ざすレジスト材料 (先端ポリマ-材料)

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