後河内 透 | (株)東芝研究開発センター新機能材料・デバイスラボラトリー主任研究員

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関連著者

• 後河内 透

  (株)東芝研究開発センター新機能材料・デバイスラボラトリー主任研究員

• 後河内 透

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• 浅川 鋼児

  (株)東芝 研究開発センター

• 信田 直美

  東芝 研究開発センター

• 信田 直美

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• 浅川 鋼児

  (株)東芝

• 後河内 透

  東芝 研究開発センター

• 沖野 剛史

  (株)東芝

• 中瀬 真

  (株)東芝

著作論文

• 半導体LSIの展望と高分子材料への期待
• コンピューター技術を支える化学 : リソグラフィー
• TC-2-2 Gbit-DRAM用レジスト材料とその光機能性
• 吸収帯シフト法と脂環を併用したArFレジスト材料の開発

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