ジブロックコポリマーの相分離パターンを用いたFePtCuナノドットの作製(高密度磁気ストレージ材料 : 開発の現状・未来と解析技術)
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概要
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規則配列したFePtCuドットアレイは、将来1Tbpsiもしくはそれ以上の記録密度を実現することが可能な近接場光記録媒体として注目されている。我々はブロックコポリマーをテンプレートとして高密度のFePtドットアレイの加工を実現した。溝のガイドにより円周状に配列したFePtCuドットアレイをディスク上に形成することに成功した。得られたFePtCuドットは保磁力の増大が確認され、加工により円筒状の形状に変化したことにより形状磁気異方性が増大したことを示していると考えられる。ドットサイズの微小化にも取り組み30nm間隔15nm直径のFePtナノドットアレイの加工にも成功、1Tbpsiの高密度においても有効な加工方法であることが確認された。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-10-29
著者
-
喜々津 哲
(株)東芝, 研究開発センター
-
内藤 勝之
(株)東芝, 研究開発センター
-
鎌田 芳幸
(株)東芝研究開発センター
-
稗田 泰之
(株)日立製作所 中央研究所
-
稗田 泰之
東芝研究開発センター
-
稗田 泰之
(株)東芝 研究開発センター
-
喜々津 哲
(株)東芝 研究開発センター
-
内藤 勝之
(株)東芝 研究開発センター
-
内藤 勝之
東芝(株)研究開発センター材料デバイス研究所
-
鎌田 芳幸
(株)東芝 研究開発センター
-
内藤 勝之
(株)東芝研究開発センター
-
喜々津 哲
(株)東芝
-
鎌田 芳幸
(株)東芝
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