自己組織化ポリマーを用いた5Tdot/inch^2ビットパターンドメディアの作製(ヘッド・スピントロニクス、一般)
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概要
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HDDの大容量化を実現するため、自己組織化リングラフィー技術を用いたビットパターンドメディアの作製を検討している。5Tdot/inch^2の密度では、ビットの大きさが8nm以下という超微細ビットをディスク上に作製する事になる。記録ビットがあまりにも小さいため、記録が室温で揺らいで消えてしまう現象を打破できる高磁気異方性エネルギー材料L_<10> FePt磁性膜を用い、12nmピッチの自己組織化材料で形成したマスクでエッチングした5Tb/in^2密度のFePt BPMを作製した。作製したFePt BPMは、保磁力6kOeと小さく、ドット反転磁界分散は21%と大きかった。エッチングダメージでKu劣化部位が生じるのが原因だと推測される。
- 2012-10-11
著者
-
前田 知幸
株式会社東芝研究開発センター
-
稗田 泰之
(株)日立製作所 中央研究所
-
稗田 泰之
(株)東芝 研究開発センター
-
前田 知幸
(株)東芝 研究開発センター
-
木原 尚子
(株)東芝研究開発センター
-
喜々津 哲
(株)東芝
-
鎌田 芳幸
(株)東芝
-
木原 尚子
(株)東芝
-
喜々津 哲
(株)東芝研究開発センター
-
前田 知幸
(株)東芝研究開発センター
-
山本 亮介
(株)東芝研究開発センター
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