「アンテナ効果」を低減するASIC設計向けの配線手法 (<特集>電子システムの設計技術と設計自動化)

スポンサーリンク

概要

論文の詳細を見る
「アンテナ効果」によるダメージを低減する配線手法について報告する. アンテナ効果とは, プラズマを用いた製造工程(エッチングなど)において導体層配線にチャージされた電荷によりゲート酸化膜がダメージを受け, トランジスタの歩留まりや信頼性が劣化する現象である. ゲート酸化膜が受けるダメージの量は, 配線パターンの幾何学的情報の直接的な関数として表される(たとえば, プラズマエッチング工程中にゲート酸化膜に接続している配線の量). 提案する配線手法は, 従来の通常配線処理に, アンテナ効果によるダメージを削減する引き剥し再配線処理を組み合わせたものである. この手法はダイサイズやパフォーマンスをほとんど犠牲にすることなくアンテナ効果を低減できる. 本手法を配置配線システムHGALOPに組み込み, 実際のSOG (sea of gates)回路に適用して有効性を検証した.
1999-04-15

著者

関連論文

もっと見る

スポンサーリンク