InGaSb結晶成長における溶液相形成過程の数値解析(半導体結晶成長I)
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概要
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Effects of buoyancy convection on unsteady dissolution of GaSb into InSb melt were calculated for different conditions. A sandwich model of GaSb/InSb/GaSb combination has been used, where GaSb is in solid state and InSb is in liquid state at the start of calculation. The combination of high heating rate and holding of temperature was more suitable than stable heating with a low heating rate to achieve steady state in a shorter time.
- 日本結晶成長学会の論文
- 2003-07-05
著者
-
小澤 哲夫
静岡理工科大学
-
早川 泰弘
静岡大学電子工学研究所
-
熊川 征司
静岡大学電子工学研究所
-
村上 倫章
静大電研
-
村上 倫章
静岡大学電子工学研究所
-
新船 幸二
静岡大学電子工学研究所
-
岡野 泰則
静岡大学工学部
-
木村 忠
静岡大学電子工学研究所
-
岡野 泰則
静岡大学電子工学研究所
-
熊川 征司
静岡大学 電子研
-
Okano Y
Shizuoka Univ. Hamamatsu Jpn
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