回転ブリッジマン法における回転効果の数値解析
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概要
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回転ブリッジマン法を解析モデルとして三元混晶結晶成長時の3次元溶液対流計算を行った。水平円筒形のアンプル内に、円筒形のGaSb種結晶、GaSb供給原料、半円筒形のIn-Ga-Sb成長溶液を配置させたモデルを用いて、流れ模様、温度分布のアンプル回転速度による依存性を調べた。結果として、アンプル回転速度の増加に伴い、アンプル内の溶液の流れは自然対流よりも強制対流の影響が強くなった。また、成長溶液内の温度分布の均一化が促進された。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-05-21
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