TMGa-TEAs-DEAsH原料を用いたCドープGaAsのMOVPE成長 : 気相成長I

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1992-06-25

著者

• 朴 康司

  豊橋技術科学大学電気・電子工学系

• 朴 康司

  豊橋技術科学大学第3工学系

• 米津 宏雄

  豊橋技術科学大学 工学研究科

• 中村 重彦

  豊橋技術科学大学

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