2P1-F02 位置測定データを用いたパラレルメカニズムのキャリブレーション法
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概要
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パラレルメカニズムはシリアルメカニズムに比較して高精度とされているが, μmオーダーの精度が要求される光学素子加工などに応用するには, 正確な運動学モデルに基づく高度な位置決め制御が必要である。そのためには機構パラメータのキャリブレーションが必須である。本研究では, 高精度6自由度ステージに適用された直動固定型パラレルメカニズムの機構パラメータ推定を, エンドプレートの姿勢の測定が難しいことから, 姿勢情報を極力用いないで行うことができるかについて考察を行った。
- 一般社団法人日本機械学会の論文
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