誘導結合プラズマ支援型多重磁極マグネトロンスパッタ法により紙上へ作製したCu薄膜の基板バイポーラ電圧依存性
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概要
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We have deposited Cu thin films on a water-resistant paper substrate using magnetron sputtering with multipolar magnetic plasma confinement assisted by inductively coupled plasma and investigated the effects of the substrate negative pulse voltage (Vs) and pulse frequency on the properties of the films. The X-ray diffraction results showed that the intensities of the Cu(111) and Cu(200) peaks depended strongly on both Vs and the pulse frequency. In addition, atomic force microscopy of the surface morphology revealed that increasing Vs in the range from 0 to −120 V resulted in a decrease in the root-mean-square roughness from 13.7 to 9.48 nm.
- 2011-03-20
著者
-
森重 史也
広島工業大学工学部電子情報工学科
-
大谷 和輝
トーヨーエイテック株式会社
-
川畑 敬志
トーヨーエイテック株式会社
-
岡本 圭司
広島工業大学工学部電子情報工学科
-
川畑 敬志
広島工業大学
-
岡本 圭司
トーヨーエイテック
-
大谷 和輝
広島工業大学工学部電子情報工学科
-
平野 意峰
広島工業大学工学部電子情報工学科
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