時変制御系による機台振動抑制を考慮したテーブル位置決め制御

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概要

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• 電気学会の論文
• 2008-03-10

著者

• 山元 純文

  名古屋工業大学

• 山元 純文

  名工大

• 伊藤 和晃

  豊田高専

• 岩崎 誠

  名工大

• 松井 信行

  名工大

• 伊藤 和晃

  豊田工業高等専門学校

• 山元 純文

  ハーモニック・ドライブ・システムズ

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