G1001-6-3 圧電素子を用いた機台振動の検出と制振制御((6)運動と振動の制御)
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概要
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This paper presents a vibration suppression methodology for table drive system on machine stand. In the system, reaction force of a table thrust excites the vibration mode of the stand. In order to suppress the vibration, therefore, a robust table positioning system is designed by a feedback compensator using a direct signal of vibration mode, where a piezoelectric element is used to detect the vibration signal as a strain signal. The proposed approach has been verified by experiments using a prototype.
- 2009-09-12
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