ひずみ量フィードバックを併用したテーブル駆動システムの高精度位置決め制御

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概要

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• 電気学会の論文
• 2009-03-10

著者

• 岩崎 誠

  名古屋工業大学

• 平井 洋武

  名古屋工業大学

• 川福 基裕

  名古屋工業大学

• 関 健太

  名古屋工業大学

• 望月 慶佑

  名古屋工業大学 大学院 情報工学専攻

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