微動領域の特性を考慮した可変フィードバック制御系によるボールねじ駆動テーブル装置の高速・高精度位置決め

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概要

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• 2012-03-06

著者

• 岩崎 誠

  名古屋工業大学

• 伊藤 和晃

  豊田高専

• 伊藤 和晃

  豊田工業高等専門学校

• 岩崎 誠

  名古屋工大

• 前橋 亘

  名古屋工大

• 前橋 亘

  名工大

• 甲木 裕一

  名古屋工大

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