窒化物系半導体薄膜での転位密度減少の観察
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概要
著者
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松畑 洋文
産業技術総合研究所
-
奥村 元
産業技術総合研究所
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奥村 元
産業技術総合研究所 パワーエレクトロニクス研究センター
-
松畑 洋文
産総研エネルギー半導体エレ
-
沈 旭強
産業技術総合研究所 パワーエレクトロニクス研究センター
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奥村 元
産業技術総合研
-
沈 旭強
産業技術総合研究所
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