28pXD-12 超音速シリコンクラスタービーム a-C 及び金属表面デポジッション
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2003-03-06
著者
-
幾原 雄一
東大工
-
大柳 宏之
産総研光技術部門
-
武藤 麻紀子
産総研
-
岩田 康嗣
産総研
-
澤田 嗣郎
東京大学
-
澤田 嗣郎
東大院新領域創成
-
松畑 洋文
産総研
-
澤田 嗣郎
東大院工
-
松畑 洋文
産総研エネルギー半導体エレ
-
大木 美加
産総研
-
山内 洋美
産総研
-
岩本 智広
東大工
-
澤田 嗣郎
東大院新領域
-
Tsuda Shinya
R&d Headquarters Sanyo Electric Co. Ltd.
-
Saitoh T
Faculty Of Technology Tokyo University Of Agriculture And Technology
-
Saitoh T
Ntt Basic Research Laboratories Physical Science Laboratory
-
Tsuge Sadaji
Functional Materials Research Center Sanyo Electric Co. Ltd.
-
大柳 宏之
産総研, 京大
-
大柳 宏之
産総研
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