ガスクラスターイオンビームプロセッシング
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概要
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- 1997-11-18
著者
-
松尾 二郎
京都大学 大学院工学研究科 附属量子理工学教育研究センター
-
青木 学聡
京都大学 大学院工学研究科 電子工学専攻
-
山田 公
京都大学工学部附属イオン工学実験施設
-
山田 公
京都大学 イオン工学実験施設
-
豊田 紀章
京都大学 イオン工学実験施設
-
山田 公
京大
-
青木 学聡
クラスターイオンビーム集中研究体
-
山田 公
京都大学
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