イオンビームを援用した交互蒸着重合法によるポリイミド薄膜の分子配向制御
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概要
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イオンビームを援用した交互蒸着重合法を考案し、ポリイミド(PI)薄膜を形成、分子配向性などイオンビームが膜質に与える効果等を検討し、物理的手法による薄膜形成法を研究した。AFM観察の結果、イオンビームを用いることにより、表面平均粗さ3Åという分子レベルで超平坦な表面を持つPI薄膜を形成できた。また、電子線回折像から、PIの主鎖を基板に対し垂直に配向させることができ、数分子層程度の極めて薄いPI薄膜が容易に作製できた。ここで二つのモノマーを交互に蒸着した場合、適当な基板温度では積層成長が可能となり、さらに配向性を向上させ、正確に膜厚制御できることが分かった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-06-21
著者
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