竹内 大輔 | 京都大学工学部付属イオンエ学実験施設
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概要
関連著者
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京都大学工学部付属イオンエ学実験施設
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京大
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京都大学工学研究科附属量子理工学研究実験センター
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京都大学 大学院工学研究科 附属量子理工学教育研究センター
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京都大学 大学院工学研究科 電子工学専攻
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INSEPOV Zinetulla
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高岡 義寛
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北井 敦
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クラスターイオンビーム集中研究体
著作論文
- 分子動力学法によるホウ素クラスターイオン注入のシミュレーション
- ポリアトミッククラスターイオン注入による浅い接合形成
- 200kVArガスクラスターイオンビームによる浅い注入層の形成
- イオンビームを援用した交互蒸着重合法によるポリイミド薄膜の分子配向制御