青木 学聡 | クラスターイオンビーム集中研究体
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概要
関連著者
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青木 学聡
クラスターイオンビーム集中研究体
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青木 学聡
京都大学 大学院工学研究科 電子工学専攻
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松尾 二郎
京都大学 大学院工学研究科 附属量子理工学教育研究センター
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Aoki Takaaki
Department Of Electronic Science And Engineering Kyoto University
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瀬木 利夫
京都大学 大学院工学研究科 原子核工学専攻
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二宮 啓
山梨大学大学院 医学工学総合研究部
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中田 由彦
京都大学大学院工学研究科原子核工学専攻
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二宮 啓
京大院工QSEC
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中田 由彦
京大院工QSEC
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山田 公
京都大学工学部附属イオン工学実験施設
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青木 学聡
京大院工QSEC
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山田 公
京大
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山田 公
京都大学
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伊藤 秋男
京大院工
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松尾 二郎
京都大学工学研究科附属量子理工学研究実験センター
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二宮 啓
京大工
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松尾 二郎
京大工
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市木 和弥
京大工
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青木 学聡
京大工
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松尾 二郎
京都大学大学院工学研究科附属量子理工学研究実験センター
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青木 学聡
京都大学工学研究科付属イオン工学実験施設
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中田 由彦
京大工
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松尾 二郎
京大院工
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瀬木 利夫
京大工
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市木 和弥
京大院工QSEC
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瀬木 利夫
京大院工QSEC
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松尾 二郎
京大院工QSEC
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青木 学聡
京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
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土田 秀次
京大院工
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INSEPOV Zinetulla
京都大学工学部附属イオン工学実験施設
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本田 善郎
京都大学大学院工学研究科原子核工学専攻
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瀬木 利夫
京都大学大学院工学研究科原子核工学専攻
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後藤 賢一
富士通株式会社 次世代lsi開発事業部
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伊藤 秋男
京大工
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杉井 寿博
(株)富士通研究所
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草場 拓也
京都大学工学研究科付属イオン工学実験施設
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瀬木 利夫
京都大学工学研究科付属イオン工学実験施設
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加勢 正隆
富士通(株)ULSI開発部
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後藤 賢一
(株)富士通研究所
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山田 公
京都大学イオン工学実験施設
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松尾 二郎
京都大学イオン工学実験施設
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豊田 紀章
京都大学イオン工学実験施設
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青木 学聡
京都大学イオン工学実験施設
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豊田 紀章
京都大学工学部附属イオン工学実験施設
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山田 公
京都大学 イオン工学実験施設
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豊田 紀章
京都大学 イオン工学実験施設
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島田 規広
京都大学工学部付属イオンエ学実験施設
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竹内 大輔
京都大学工学部付属イオンエ学実験施設
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高岡 義寛
京都大学工学部イオン工学実験施設
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杉井 寿博
富士通マイクロエレクトロニクス株式会社
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高岡 義寛
京都大学大学院工学研究科附属イオン工学実験施設
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加勢 正隆
富士通株式会社
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山田 英丙
京都大学大学院工学研究科原子核工学専攻
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二宮 啓
京都大学大学院工学研究科附属量子理工学研究実験センター
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本田 善郎
京大工
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Aoki T.
京大院工
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加瀬 正隆
富士通
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北川 晃幸
(株)野村鍍金
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YAMADA Hideaki
Department of Agricultural Chemistry, Kyoto University
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NAKATA YOSHIHIKO
Department of Agricultural Chemistry, Faculty of Agriculture, Kyushu University
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Matsuo Jiro
Quantum Science And Engineering Center Kyoto University
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Seki Toshio
Department Of Nuclear Engineering Kyoto University
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Seki Toshio
Department Of Cardiovascular Surgery Nara Prefectural Mimuro Hospital
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Aoki Takaaki
Department Of Bioresource Chemistry Obihiro University Of Agriculture And Veterinary Medicine
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Nakata Yoshihiko
Department Of Nuclear Engineering Kyoto University
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Nakata Yoshihiko
Department Of Agricultural Chemistry Faculty Of Agriculture Kyushu University
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千葉 俊一
京都大学大学院工学研究科附属イオン工学実験施設
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Ichiki Kazuya
Department Of Nuclear Engineering Kyoto University
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杉井 寿博
富士通マイクロエレクトロニクス
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NINOMIYA Satoshi
Quantum Science and Engineering Center, Kyoto University
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瀬木 利夫
科学技術振興機構 戦略的創造研究推進事業
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青木 学聡
科学技術振興機構 戦略的創造研究推進事業
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Ninomiya Satoshi
Quantum Science And Engineering Center Kyoto University
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北川 晃幸
(株)野村鍍金 技術部
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千葉 俊一
京都大学大学院工学研究科
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Yamada Hideaki
Department Of Nuclear Engineering Kyoto University
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Yamada Hideaki
Department Of Agricultural Chemistry Faculty Of Agriculture Kyoto University
著作論文
- クラスタイオンビームによる平坦化加工技術
- A Processing Technique for Cell Surfaces Using Gas Cluster Ions for Imaging Mass Spectrometry
- デカボランイオン注入による損傷の形成とその増速拡散への影響
- クラスターイオン注入とデバイスプロセス
- ガスクラスターイオンビームによる表面エッチング
- ガスクラスターイオンビームプロセッシング
- 分子動力学法によるホウ素クラスターイオン注入のシミュレーション
- 23aRB-2 巨大Arクラスター衝突によりSiから生成される二次イオンにおける入射速度効果(放射線物理(散乱素過程),領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
- 19aXJ-4 サイズ選別されたクラスターイオン照射における二次イオン収率測定(放射線物理,領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
- 26pWD-7 サイズ選別されたクラスターイオンにより生成される二次イオンの測定(26pWD 放射線物理,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
- 28aTA-6 スパッタリングにおけるイオン化確率の入射クラスターイオン種依存性(28aTA 放射線物理,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
- 高速重イオンを利用したイメージング質量分析
- 24aRB-2 高分解能イメージング質量分析へ向けたイオン入射条件の探索(原子分子・放射線融合(イオン-表面相互作用),領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
- クラスターイオンの新しい展開--ナノプロセスから先端分析応用
- 19pYR-9 MeV重イオン衝撃スパッタリングによる励起状態分子放出(放射線物理,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
- 19pYR-5 巨大ガスクラスターイオン衝突による半導体材料からの二次イオン放出(放射線物理,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
- 25aYJ-9 高速イオン衝撃スパッタリングによる中性粒子の収量及び放出エネルギー測定(放射線物理,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
- 25aYJ-6 複数の方法で測定した全スパッタリング収率の比較(放射線物理,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
- 12aTG-5 MeV エネルギー領域での絶縁体及び金属の全スパッタリング収率測定(放射線物理, 領域 1)
- クラスターイオン衝突の密度効果
- 低エネルギーホウ素イオン注入におけるホウ素の蓄積・脱離過程のシミュレーション
- 分子動力学法を用いたFイオン照射によるSi表面エッチングのシミュレーション
- 塩素クラスターによる高速加工
- ガスクラスタイオンビームによるナノ加工技術
- クラスターイオンビーム技術の最近の進展
- クラスターイオン衝突における非線形照射効果とそのプロセス応用