瀬木 利夫 | 京都大学 大学院工学研究科 原子核工学専攻

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概要

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• 京都大学 大学院工学研究科 原子核工学専攻の論文著者

関連著者

• 瀬木 利夫

  京都大学 大学院工学研究科 原子核工学専攻

• 松尾 二郎

  京都大学 大学院工学研究科 附属量子理工学教育研究センター

• 青木 学聡

  京都大学 大学院工学研究科 電子工学専攻

• 青木 学聡

  クラスターイオンビーム集中研究体

• Aoki Takaaki

  Department Of Electronic Science And Engineering Kyoto University

• 二宮 啓

  山梨大学大学院 医学工学総合研究部

• 中田 由彦

  京都大学大学院工学研究科原子核工学専攻

• 松尾 二郎

  京都大学工学研究科附属量子理工学研究実験センター

• 山田 公

  京都大学工学部附属イオン工学実験施設

• 瀬木 利夫

  京都大学工学研究科付属イオン工学実験施設

• 市木 和弥

  京大工

• 松尾 二郎

  京都大学大学院工学研究科附属量子理工学研究実験センター

• 山田 公

  京大

• 山田 公

  京都大学

• 二宮 啓

  京大工

• 松尾 二郎

  京大工

• 瀬木 利夫

  京大工

• 青木 学聡

  京大工

• 二宮 啓

  京大院工QSEC

• 市木 和弥

  京大院工QSEC

• 中田 由彦

  京大院工QSEC

• 瀬木 利夫

  京大院工QSEC

• 青木 学聡

  京大院工QSEC

• 松尾 二郎

  京大院工QSEC

• 瀬木 利夫

  京都大学大学院工学研究科原子核工学専攻

• 田能村 昌宏

  京都大学工学部付属イオン工学実験施設

• 中田 由彦

  京大工

• 本田 善郎

  京都大学大学院工学研究科原子核工学専攻

• 青木 学聡

  京都大学大学院工学研究科電子工学専攻

• 田能村 昌宏

  京都大学工学部附属イオン工学実験施設

• 後藤 賢一

  富士通株式会社 次世代lsi開発事業部

• 杉井 寿博

  (株)富士通研究所

• 草場 拓也

  京都大学工学研究科付属イオン工学実験施設

• 青木 学聡

  京都大学工学研究科付属イオン工学実験施設

• 加勢 正隆

  富士通(株)ULSI開発部

• 後藤 賢一

  (株)富士通研究所

• 杉井 寿博

  富士通マイクロエレクトロニクス株式会社

• 高岡 義寛

  京都大学大学院工学研究科附属イオン工学実験施設

• 加勢 正隆

  富士通株式会社

• 山田 英丙

  京都大学大学院工学研究科原子核工学専攻

• 二宮 啓

  京都大学大学院工学研究科附属量子理工学研究実験センター

• 本田 善郎

  京大工

• 加瀬 正隆

  富士通

• 北川 晃幸

  (株)野村鍍金

• 金原 啓道

  京都大学大学院工学研究科附属イオン工学実験施設

• 杉井 寿博

  富士通マイクロエレクトロニクス

• 瀬木 利夫

  科学技術振興機構 戦略的創造研究推進事業

• 青木 学聡

  科学技術振興機構 戦略的創造研究推進事業

• 北川 晃幸

  (株)野村鍍金 技術部

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著作論文

• クラスタイオンビームによる平坦化加工技術
• デカボランイオン注入による損傷の形成とその増速拡散への影響
• イオン衝突によるシリコン表面欠陥の高温STM観察
• クラスターイオンの非線形効果(原子核とマイクロクラスターの類似性と異質性)
• クラスターイオンの非線形効果(原子核とマイクロララスターの類似性と異質性,研究会報告)
• 23aRB-2 巨大Arクラスター衝突によりSiから生成される二次イオンにおける入射速度効果(放射線物理(散乱素過程),領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
• 19aXJ-4 サイズ選別されたクラスターイオン照射における二次イオン収率測定(放射線物理,領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
• 26pWD-7 サイズ選別されたクラスターイオンにより生成される二次イオンの測定(26pWD 放射線物理,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
• 28aTA-6 スパッタリングにおけるイオン化確率の入射クラスターイオン種依存性(28aTA 放射線物理,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
• クラスターイオンビーム技術の最近の進展 (特集 クラスタービームとその応用技術)
• 高速重イオンを利用したイメージング質量分析
• 24aRB-2 高分解能イメージング質量分析へ向けたイオン入射条件の探索(原子分子・放射線融合(イオン-表面相互作用),領域1,原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理)
• 19pYR-5 巨大ガスクラスターイオン衝突による半導体材料からの二次イオン放出(放射線物理,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
• ガスクラスタイオンビームによるナノ加工技術
• クラスターイオン衝突における非線形照射効果とそのプロセス応用 (小特集 イオン技術の新しい発展)
• ガスクラスターイオンビームの大電流化及び表面高機能化
• 塩素クラスターによる高速加工
• ガスクラスタイオンビームによるナノ加工技術
• クラスターイオンビーム技術の最近の進展
• 液体多原子イオンビームの生成と表面照射効果
• クラスターイオン衝突における非線形照射効果とそのプロセス応用

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