青木 学聡 | 京都大学工学研究科付属イオン工学実験施設

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概要

• 同名の論文著者
• 京都大学工学研究科付属イオン工学実験施設の論文著者

関連著者

• 松尾 二郎

  京都大学工学研究科附属量子理工学研究実験センター

• 松尾 二郎

  京都大学 大学院工学研究科 附属量子理工学教育研究センター

• 青木 学聡

  京都大学 大学院工学研究科 電子工学専攻

• 山田 公

  京都大学工学部附属イオン工学実験施設

• 青木 学聡

  京都大学工学研究科付属イオン工学実験施設

• 山田 公

  京大

• 青木 学聡

  クラスターイオンビーム集中研究体

• 山田 公

  京都大学

• INSEPOV Zinetulla

  京都大学工学部附属イオン工学実験施設

• 後藤 賢一

  富士通株式会社 次世代lsi開発事業部

• 杉井 寿博

  (株)富士通研究所

• 瀬木 利夫

  京都大学 大学院工学研究科 原子核工学専攻

• 草場 拓也

  京都大学工学研究科付属イオン工学実験施設

• 瀬木 利夫

  京都大学工学研究科付属イオン工学実験施設

• 加勢 正隆

  富士通(株)ULSI開発部

• 後藤 賢一

  (株)富士通研究所

• 豊田 紀章

  京都大学工学部附属イオン工学実験施設

• 島田 規広

  京都大学工学部付属イオンエ学実験施設

• 竹内 大輔

  京都大学工学部付属イオンエ学実験施設

• 杉井 寿博

  富士通マイクロエレクトロニクス株式会社

• 加勢 正隆

  富士通株式会社

• 加瀬 正隆

  富士通

• 杉井 寿博

  富士通マイクロエレクトロニクス

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著作論文

• デカボランイオン注入による損傷の形成とその増速拡散への影響
• ガスクラスターイオンビームによる表面エッチング
• 分子動力学法によるホウ素クラスターイオン注入のシミュレーション

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