豊田 紀章 | 京都大学工学部附属イオン工学実験施設

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概要

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• 同名の論文著者
• 京都大学工学部附属イオン工学実験施設の論文著者

関連著者

• 松尾 二郎

  京都大学工学研究科附属量子理工学研究実験センター

• 松尾 二郎

  京都大学 大学院工学研究科 附属量子理工学教育研究センター

• 山田 公

  京都大学工学部附属イオン工学実験施設

• 豊田 紀章

  京都大学工学部附属イオン工学実験施設

• 山田 公

  京大

• 山田 公

  京都大学

• 竹内 大輔

  京都大学工学部付属イオンエ学実験施設

• 木谷 博昭

  京都大学工学部附属イオン工学実験施設

• 高岡 義寛

  京都大学工学部イオン工学実験施設

• 青木 学聡

  京都大学 大学院工学研究科 電子工学専攻

• 青木 学聡

  京都大学工学研究科付属イオン工学実験施設

• INSEPOV Zinetulla

  京都大学工学部附属イオン工学実験施設

• 島田 規広

  京都大学工学部付属イオンエ学実験施設

• 北井 敦

  京都大学工学部イオン工学実験施設

• 秋月 誠

  三洋電機マイクロ研

• 金子 剛

  京都大学工学部イオン工学実験施設

• 青木 学聡

  クラスターイオンビーム集中研究体

• 吉澤 哲

  京都大学工学部イオン工学実験施設

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著作論文

• ガスクラスターイオンビームによる表面エッチング
• ガスクラスターイオンビームによるSiC表面平坦化
• ポリアトミッククラスターイオン注入による浅い接合形成
• 200kVArガスクラスターイオンビームによる浅い注入層の形成
• ガスクラスターイオンビームを用いた半導体表面処理技術の開発
• 反応性クラスターイオンビームによるエッチング

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