28aTA-6 スパッタリングにおけるイオン化確率の入射クラスターイオン種依存性(28aTA 放射線物理,領域1(原子・分子,量子エレクトロニクス,放射線物理))
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2006-03-04
著者
-
松尾 二郎
京都大学 大学院工学研究科 附属量子理工学教育研究センター
-
瀬木 利夫
京都大学 大学院工学研究科 原子核工学専攻
-
二宮 啓
山梨大学大学院 医学工学総合研究部
-
青木 学聡
京都大学 大学院工学研究科 電子工学専攻
-
市木 和弥
京大工
-
二宮 啓
京大院工QSEC
-
市木 和弥
京大院工QSEC
-
中田 由彦
京大院工QSEC
-
瀬木 利夫
京大院工QSEC
-
青木 学聡
京大院工QSEC
-
松尾 二郎
京大院工QSEC
-
中田 由彦
京都大学大学院工学研究科原子核工学専攻
-
Aoki Takaaki
Department Of Electronic Science And Engineering Kyoto University
-
青木 学聡
クラスターイオンビーム集中研究体
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