塩素クラスターによる高速加工
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概要
著者
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瀬木 利夫
京都大学 大学院工学研究科 原子核工学専攻
-
青木 学聡
京都大学 大学院工学研究科 電子工学専攻
-
Aoki Takaaki
Department Of Electronic Science And Engineering Kyoto University
-
青木 学聡
クラスターイオンビーム集中研究体
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