クラスターイオン衝突における非線形照射効果とそのプロセス応用
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概要
著者
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松尾 二郎
京都大学 大学院工学研究科 附属量子理工学教育研究センター
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瀬木 利夫
京都大学 大学院工学研究科 原子核工学専攻
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青木 学聡
京都大学 大学院工学研究科 電子工学専攻
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瀬木 利夫
京都大学大学院工学研究科原子核工学専攻
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青木 学聡
京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
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松尾 二郎
京都大学大学院工学研究科附属量子理工学研究実験センター
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Aoki Takaaki
Department Of Electronic Science And Engineering Kyoto University
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青木 学聡
クラスターイオンビーム集中研究体
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