位相シフト法によるGaAsFETの微細ゲート形成
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概要
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- 1997-02-10
著者
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上田 大助
松下電子工業(株)半導体社半導体デバイス研究センター
-
竹中 浩
松下電子工業(株)電子総合研究所
-
上田 大助
松下電子工業(株)電子総合研
-
上田 大助
松下電子工業(株) 半導体社 半導体デバイス研究センタ 化合物半導体研究部
-
竹中 浩
松下電子工業(株)電子総合研
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