<100>方向のチャネルをもつ高性能微細MOSFET
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概要
著者
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井上 靖朗
三菱電機(株)
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佐山 弘和
三菱電機(株)ULSI開発研究所
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井上 靖朗
(株)ルネサステクノロジ先端デバイス開発部
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井上 靖朗
(株)ルネサステクノロジ
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佐山 弘和
三菱電機ulsi技術開発センター
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佐山 弘和
三菱電機(株)
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