低エネルギー電子線照射を施したp型4H-SiCにおける再結合中心の評価 (シリコン材料・デバイス)

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概要

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• 2012-05-17

著者

• 加藤 正史

  名古屋工業大学

• 市村 正也

  名古屋工業大学機能工学専攻

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