上部金属電極の自己整合パターニングを可能とする強誘電体キャパシタ作製プロセス (特集 ナノ・ケモテクノロジーへの招待--奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科)
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概要
著者
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塩嵜 忠
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
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塩嵜 忠
奈良先端大物質科
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岡村 総一郎
奈良先端大物質創成
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岡村 総一郎
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
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Shiosaki Tadashi
Research Development Division Sakai Chemical Industry Co. Ltd.
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