電子線誘起反応を用いた強誘電体薄膜の微細加工プロセス (特集 酸化物強誘電体薄膜の合成とその物性)
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概要
著者
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塩嵜 忠
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
-
岡村 総一郎
奈良先端大物質創成
-
岡村 総一郎
奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科
-
Shiosaki Tadashi
Research Development Division Sakai Chemical Industry Co. Ltd.
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