水素プラズマスパッタ-法による微結晶Si:Hの成長モデル (ケイ素化学の新しい展開<特集>) -- (合成)

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概要

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著者

• 藤代 博之

  岩手大学工学部材料物性工学科

• 古川 昌司

  九州工業大学

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