LPE法によるBi-2212高温超伝導薄膜の作製とその固有ジョセフソン効果(センサデバイス・MEMS・一般)
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概要
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銅酸化物超伝導体Bi_2Sr_2CaCu_2O_Xの高品質の薄膜作製をめざして,赤外線集光加熱炉を用いた液相エピタキシャル成長法を考案し,MgO基板上に粒径約1mm,膜厚約1μmの単結晶的グレインを得た.接合形状に加工したグレインの電流-電圧特性を測定した結果,従来は単結晶とウィスカーでのみ報告されていた本系の固有ジョセフソン効果を薄膜上で観測することに成功した.さらに,あらかじめ段差を形成した基板上に薄膜を作製し,段差を越えて成長したグレインを加工することによって,平面型固有ジョセフソン接合の作製が可能になった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-08-27
著者
-
中島 健介
山形大学大学院理工学研究科
-
安田 敬
九州工業大学・大学院情報工学研究院
-
安田 敬
九工大情報
-
安田 敬
九州工大 情報工
-
山下 努
東北大未来セ
-
中島 健介
東北大学電気通信研究所
-
山下 努
東北大学未来科学技術共同研究センター
-
中島 健介
弘前大学理工学部
-
古川 昌司
九州工業大学・大学院情報工学研究科
-
山下 努
東北大学電気通信研究所
-
山下 努
弘前大学理工学部
-
山下 努
弘前大理工
-
川江 健
東北大学電気通信研究所
-
古川 昌司
九州工業大学
-
安田 敬
九工大・情報工
-
中島 健介
山形大学大学院・理工学研究科
-
安田 敬
九州工業大学
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