有機ポリシラン薄膜の電気的特性に関する研究(センサ・一般(有機一般,及び電子デバイス一般))
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概要
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我々は今までに、種々の珪素系高分子(有機ポリシラン)の分子構造とパッキングについて検討・報告してきた。また、有機ポリシランの内、最も基本的な構造を持つポリジメチルシランを真空蒸着により薄膜化することを提唱し、その配向性を制御することにも成功した。今回、ポリジメチルシラン及びポリシラスチレンを薄膜化し、その電気的特性について検討したので、それらの結果について報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2004-09-02
著者
-
安田 敬
九州工業大学・大学院情報工学研究院
-
古川 昌司
九州工業大学・大学院情報工学研究科
-
大多 英隆
九州工業大学
-
大多 英隆
九州工業大学・大学院情報工学研究科
-
高本 智基
九州工業大学・大学院情報工学研究科
-
石井 浩司
九州工業大学・大学院情報工学研究科
-
古川 昌司
九州工業大学
-
山崎 淳志
九州工業大学・大学院情報工学研究科
-
安田 敬
九工大 大学院情報工学研究院
-
石井 浩司
九州工業大学
-
安田 敬
九州工業大学
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