真空蒸着法により作製したポリジメチルシラン薄膜の構造に関する一考察(センサデバイス・MEMS・一般)
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概要
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ポリジメチルシランは安価で市販されている。しかし、室温で有機溶媒に不溶であるため、その電子デバイスへの応用については、あまり研究されていなかった。我々は、真空蒸着法による薄膜化を提唱し、真空蒸着時のパラメータ(蒸着速度、基板温度、及び真空度)を変化させることにより、ポリジメチルシランの主鎖の配向性を制御することにも成功した。今回、真空蒸着法により作製したポリジメチルシラン薄膜の構造と物性について考察したので、その結果について報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-08-26
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