ポリジヘキシルシラン薄膜の配向性に関する研究(薄膜(Si,化合物,有機)機能デバイス・材料・評価技術)
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概要
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我々は、ポリジメチルシランを真空蒸着法により薄膜化し、その主鎖の配向性を制御することに成功している。本研究においては、有機溶媒に可溶なポリジヘキシルシランに着目し、その溶液から薄膜を作製した。その結果、ポリジヘキシルシラン主鎖の殆どが、基板表面に対して平行に配向していることが分かった。また、ポリジヘキシルシラン分子と基板との接触についても、特定の2種類の場合が殆どであることが分かった。本研究では、ポリジヘキシルシランの分子構造を念頭に置いて、その理由等についても考察する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-04-10
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