変位電流法を用いたフタロシアニン真空蒸着膜の物性評価(センサデバイス・MEMS・一般)
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概要
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変位電流法を用いてフタロシアニン真空蒸着膜の物性評価を行った。使用したフタロシアニンはメタルフリーフタロシアニン(H_2Pc)である。保護膜が有る試料と無い試料に対して測定を行った。保護膜はトルエンを溶媒としたポリスチレン3[wt.%]の溶液を用いてキャスト法にて成膜した。この測定により、キャリア挙動と大気との関係について調べた。その結果、保護膜無しの試料には多くのトラップが存在し、保護膜有りの試料にはトラップが存在しないことが分かった。従って、保護膜によって試料の劣化を防げることが分かった。
- 2007-09-14
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