液体/LiNbO_3/サファイア構造を伝搬する漏洩弾性表面波に関する理論的研究(センサデバイス・MEMS・一般)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
弾性表面波が伝搬する圧電体基板上に液体を負荷すると、弾性表面波は液体中にエネルギーを放射しながら伝搬し、漏洩弾性表面波となる。近年、サファイア基板上にLiNbO_3をエピタキシャル成長させる技術が開発され、高周波デバイス用基板として期待されている。今回、LiNbO_3/サファイア基板上に液体を負荷した系を伝搬する漏洩弾性表面波の位相速度、伝搬損失、電気機械結合係数、及び粒子変位分布等を数値計算により求めた。その結果、LiNbO_3/サファイア基板が液体センサーとして利用出来ることが分かった。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-08-26
著者
-
野村 徹
芝浦工業大学工学部
-
古川 昌司
九州工業大学・大学院情報工学研究科
-
大多 英隆
九州工業大学
-
大多 英隆
九州工業大学・大学院情報工学研究科
-
高本 智基
九州工業大学・大学院情報工学研究科
-
古川 昌司
九州工業大学
関連論文
- 弾性表面波とセンサ : 聴こえない音を相棒に30年(アコースティックイメージング,一般)
- 薄膜技術による多機能型弾性表面波センサの開発
- Molecular Template法による感応膜とその弾性表面波ガスセンサへの応用
- 液体/LiNbO_3/サファイア構造を伝搬する漏洩弾性表面波に関する理論的研究(センサデバイス・MEMS・一般)
- 層状弾性表面波基板における速度分散曲線の特性
- 液相用2端子対表面波共振器を用いた液体センシング
- 反射形弾性表面波デバイスのセンサへの応用
- 反射形弾性表面波デバイスのセンサへの応用
- SH-SAW共振器による液体の音響特性評価
- 液相用表面波デバイスとその液体センシングへの応用
- 液相用表面波デバイスとその液体センシングへの応用
- 液相用表面波デバイスとその液体センシングへの応用
- マルチモードSAWによる液体の音響的特性評価
- E-3 弾性表面波を用いたメタノール濃度センサ(弾性表面波デバイス)
- A-11-3 SAWデバイスを用いた液体センサ(A-11.超音波,一般講演)
- A-11-7 弾性表面波共振器を用いた液体マスフローセンサの試み(A-11. 超音波, 基礎・境界)
- 液体/LiNbO_3/サファイア構造を伝搬する漏洩弾性表面波に関する理論的研究(センサデバイス・MEMS・一般)
- SAWデバイスを用いた匂い発生装置 : SAWストリーミングによる有機溶媒の流動
- セルフアセンブリ膜を用いた弾性表面波センサ
- 分子膜構造が水晶振動子匂いセンサ応答特性へ与える影響
- 分子膜構造が水晶振動子匂いセンサ応答特性へ与える影響
- 分子膜構造が水晶振動子匂いセンサ応答特性へ与える影響
- 分子膜構造が水晶振動子匂いセンサ応答特性へ与える影響
- Self-Assembly法による感応膜を用いた弾性波センサ
- ヘテロLB膜を用いた弾性表面波センサの特性
- SH-SAWによる水溶液の音響特性評価
- SH-SAW遅延線による液体の音響特性の測定
- SH-SAWによる液体の音速測定
- マルチチャンネル型SAWセンサの構成
- A-209 マルチチャンネル型SAWセンサの構成(A-11. 超音波,一般講演)
- A-11-2 弾性表面波メタノールセンサ(A-11. 超音波,一般セッション)
- A-11-7 簡易LB膜法によるSAWセンサの感応膜(A-11.超音波,一般セッション)
- 2P5-17 弾性表面波を用いた匂い供給装置の開発(ポスターセッション)
- 燃料電池用SAWメタノールセンサの開発
- A-11-1 SAWデバイスによる触覚センサの開発(A-11. 超音波,一般セッション)
- 1-06P-65 部分的水面キャスト分子膜によるSAWセンサ(ポスターセッション 1)
- A-11-5 次元SAWひずみセンサ(A-11.超音波,一般講演)
- 弾性表面波による質量流量センサの開発
- A-11-4 モノリシックSAWセンサとその応用(A-11.超音波,一般講演)
- A-11-3 弾性表面波素子を用いた匂い発生デバイスの開発(A-11.超音波,一般講演)
- 弾性表面波による多チャンネル化学センサ(一般・音波物性)
- 多機能型パッシブSAWセンサとその応用
- インピーダンス変化型半導体ガスセンサに関する研究
- 分散センシング用端末の開発と環境計測応用
- 弾性表面波デバイスによるマスフローの測定(音波物性・超音波計測技術)
- インピーダンス変化型半導体ガスセンサの応答特性とその計測法に関する研究(化学センサ・一般)
- 多機能弾性表面波センサの開発 : SAW RFIDセンサの開発(センサデバイス・MEMS・一般)
- 多機能弾性表面波センサの開発 : SAW RFIDセンサの開発(センサデバイス・MEMS・一般)
- くし型電極を用いた半導体ガスセンサの研究
- 弾性表面波マスフローセンサの開発 : 遅延線型によるマスフローセンサ
- 弾性表面波マスフローセンサの開発 : 遅延線型によるマスフローセンサ(有機EL及び関連有機材料, 低温poly-Siと有機TFT技術と一般)
- 弾性表面波マスフローセンサの開発 : 遅延線型によるマスフローセンサ(有機EL及び関連有機材料, 低温poly-Siと有機TFT技術と一般)
- 弾性表面波マスフローセンサの開発 : 遅延線型によるマスフローセンサ(有機EL及び関連有機材料, 低温poly-Siと有機TFT技術と一般)
- 弾性表面波マスフローセンサの開発 : 遅延線型によるマスフローセンサ
- 弾性表面波マスフローセンサの開発 : 遅延線型によるマスフローセンサ
- A-11-6 Passive SAW-RFID Sensor Systemの構築(A-11. 超音波, 基礎・境界)
- P2-9 水晶振動子ガスセンサ応答波形解析とその応用(ポスターセッション2(概要講演))
- IDタグの機能を有する無給電表面波センサ : 反射型遅延線によるIDタグの構成(センサ・一般(有機一般,及び電子デバイス一般))
- IDタグの機能を有する無給電表面波センサ : 反射型遅延線によるIDタグの構成(センサ・一般(有機一般,及び電子デバイス一般))
- 弾性波ガスセンサ応答波形解析とセンサ特性評価に関する研究
- 反射型遅延線による弾性表面波RFIDダグとその応用 : IDタグ機能付きパッシブSAWセンサ
- SH-SAWデバイスによるひずみの測定とその応用(有機EL, TFT,及び一般)
- SH-SAWデバイスによるひずみの測定とその応用(有機EL, TFT,及び一般)
- SH-SAWデバイスによるひずみの測定とその応用(有機EL, TFT,及び一般)
- パッシブSAWセンサとそのリモートセンシングへの応用
- パッシブSAWセンサとそのリモートセンシングへの応用
- P2-C-2 センサ応答波形解析による水晶振動子ガスセンサ用感応膜の特性評価に関する研究(バルク波・表面波デバイス,ポスターセッション2(概要講演))
- A-11-6 周波数分割方式によるマルチ型表面波センサ
- C-10-5 複数センサによる室内環境モニタリングに関する研究
- 室内環境モニタリングシステムに関する研究(化学センサ一般)
- フロー系SAWセンサのクロマトグラフィへの応用(化学センサ一般)
- 弾性表面波センサによるセンシングシステム
- 弾性表面波センサによるセンシングシステム
- 1721 機械構造物の安心・安全評価のための多機能化SAWデバイスセンサの設計と基本特性(J08-5 材料・構造,デバイス(1),J08 知的材料・構造システム)
- E-9 交差指電極を使った液体超音波トランスジューサ(一般講演)
- PD9 SH-SAWによる飲料水の音響特性評価(ポスターセッション1-概要講演・展示)
- ビーム走査超音波IDTの特性
- 弾性表面波湿度センサ (弾性波環境センサ)
- 高分子誘電体薄膜を用いた表面波湿度センサ
- 部分的水面キャスト法を用いた多チャンネルSAW化学センサ構築の基礎研究
- 2D-6 SHモード表面波用導波路とその応用(弾性表面波)
- 2-PF-2 表面波遅延線による液体の音速と粘性の測定(2-P.ポスターセッション(概要講演))
- P-21 フレネル形IDTによる集束表面波の励振(ポスター:医用超音波,超音波計測,送受波器)
- シリコン系高分子の構造とその弾性表面波センサーへの応用
- 超音波デバイス SAWデバイスによる二次元ひずみの測定
- SAWデバイスによる二次元ひずみの測定
- 超音波デバイス 多機能型パッシブSAWセンサとその応用
- A-11-7 弾性表面波デバイスを用いた触覚センサの検討(A-11.超音波,一般講演)
- A-11-6 SAWを用いた歪の測定(A-11.超音波,一般講演)
- 反射型遅延線を用いた弾性表面波液体センサプローブ
- 無線方式用弾性表面波センサシステムの構成
- SA-5-9 SH-SAW液体センサプローブ
- US2000-30 / EMD2000-26 / CPM2000-41 / OME2000-36 端面反射SH-SAWを用いたセンサの特性
- US2000-30 / EMD2000-26 / CPM2000-41 / OME2000-36 端面反射SH-SAWを用いたセンサの特性
- US2000-30 / EMD2000-26 / CPM2000-41 / OME2000-36 端面反射SH-SAWを用いたセンサの特性
- US2000-30 / EMD2000-26 / CPM2000-41 / OME2000-36 端面反射SH-SAWを用いたセンサの特性
- フレネルホログラム再生像に与える逆演算の影響
- 水晶振動子ガスセンサ応答時定数解析
- 共振器型SAWセンサのQ値
- 12-7 X-Z色マトリクス回路のγ_P依存性について