弾性表面波センサによるセンシングシステム
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概要
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SH-SAWの基板端面における反射現象を利用した反射型遅延線SAWセンサプローブについて述べる.SH-SAW(Shear horizontal type surface acoustic wave)は、表面に水平な粒子変位成分のみを有し、直角のコーナーに垂直に入射すると完全反射する.この性質を利用した反射型遅延線によるセンサは,様々な特徴を有する.本報告では、直角エッジを有する36° YX LiTaO_3基板を使い、反射型のSH-SAW遅延線によるSAWセンサの構成とその回路システムについて示した.実験では,このセンサを液体中で動作させ,基本的な振幅と位相の特性を明らかにし,このセンサプローブが液体用として有効であること示した。次に、この反射型遅延線を使ったセンサのためのセンシングシステムについて提案した.更に,各種液体の計測に,このセンサシステムを適用した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-09-13
著者
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